納米級三坐標測量機
[2013-03-21]
納米三坐標測量機科技是當今的前沿科技領域，然而只有當能夠對納米尺度進行測量時納米科技才能成為真正的科學。目前納米尺度的測量已從一維測量走向三維測量。圖11 是德國伊爾梅諾大學研制的世界上第一臺商品納米三坐標測量機。我國臺灣大學教授、合肥工業(yè)大學長江教授范光照也與合肥工業(yè)大學一起研制了我國第一臺納米三坐標測量機。這些測量機都具有以下特點。（1）采用具有納米分辨力的原子力顯微鏡或近場光學顯微鏡等作為測頭。（2）采用激光標尺，以實現(xiàn)米定義的溯源。（3）采用高精度細分技術獲得納米分辨力。（4）采用微晶玻璃等零膨脹系數(shù)材料構筑測量機主體測量框架，消除溫度的影響。（5）在結構布局上盡可能符合阿貝原則，減小阿貝誤差。（6）采用電容傳感器等測量移動部件的角運動誤差，并采用硬件補償調整或軟件補償?shù)姆椒p小角運動誤差的影響。
納米三坐標測量機
