三坐標(biāo)測量室的濕度不僅會影響座標(biāo)機(jī)的測量誤差，而且會損壞三坐標(biāo)測量機(jī)電器等零件，造成三坐標(biāo)故障，還會嚴(yán)重影響三坐標(biāo)測量機(jī)壽命。
機(jī)房濕度太大，空氣中的水汽會很快凝結(jié)在溫度相對比較低的三坐標(biāo)測量機(jī)導(dǎo)軌和部件上，會使三座標(biāo)測量機(jī)的氣浮塊和某些部件嚴(yán)重銹蝕，影響三坐標(biāo)測量機(jī)壽命。而計算機(jī)和控制系統(tǒng)的電路板會因濕度過大出現(xiàn)腐蝕或造成短路，形成三坐標(biāo)故障。
濕度也不是越低越好，太低了，主機(jī)上的一些潤滑油、其他的油膜容易干，玻璃透鏡上面的鍍膜容易壞，粘劑容易開，也不好。濕度小，還會嚴(yán)重影響花崗石的吸水性，可能造成花崗石變形。干燥空氣中的灰塵和靜電會對控制系統(tǒng)造成危害。所以，三坐標(biāo)機(jī)房的濕度要慎重保證。
三坐標(biāo)檢測室的環(huán)境濕度一般控制在35～65％。三座標(biāo)機(jī)除自帶油水分離器外，一般機(jī)房還得配上冷凍式干燥機(jī)。干燥機(jī)要與三坐標(biāo)機(jī)房的環(huán)境濕度相匹配，我國北方濕度相對小一些，可匹配功率小一些的冷干機(jī)，一般6到8個立方的流量就可以了。如果濕度太小，小于35％，還要灑水，增大濕度稍大于35％；南方濕度大，匹配功率大一些的干燥機(jī)，至少8個立方的流量，濕度控制在65％以下，35％以上。干燥除濕機(jī)和空調(diào)機(jī)一樣，下班時間也要開機(jī)，不能上班開機(jī)，下班關(guān)機(jī)。
三坐標(biāo)機(jī)房環(huán)境嚴(yán)重影響測量精度，要控制坐標(biāo)測量機(jī)的使用環(huán)境，嚴(yán)格弄好溫度，濕度，氣源，可以延長三座標(biāo)的使用壽命。
